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簡(jiǎn)要描述:LODAS™ – AI50/100是列真株式會(huì )社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。
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列真株式會(huì )社自創(chuàng )業(yè)以來(lái),秉承“挑戰"、“創(chuàng )造"、“誠實(shí)"的經(jīng)營(yíng)理念,為顧客提供可靠、可信的產(chǎn)品和服務(wù)。運用激光掃描技術(shù),專(zhuān)門(mén)制造、銷(xiāo)售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。
特征:
半導體用Photomask Blanks的出廠(chǎng)檢查、工藝評價(jià)
用微分干涉顯微鏡分析缺陷
檢查對象:Photomask Substrate、Cr、Resist、MoSi
檢查項目:顆粒、內部缺陷(Option)
檢查靈敏度:PDM缺陷尺寸0.1μm(AI00)
定期支持裝置安裝完成后的性能維持。
24小時(shí)電話(huà)對應,全年無(wú)休的安心支持。
認真對待客戶(hù)新的要求。
召開(kāi)技術(shù)研討會(huì )和充實(shí)各種手冊,讓顧客能夠自行維護和更換零件。
提供HDD、激光光源等消耗品的免費診斷服務(wù)。
產(chǎn)品咨詢(xún)
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