該客戶(hù)系湖北武漢的上市公司，是一家從事半導體工藝制程材料、半導體先進(jìn)封裝材料、半導體顯示材料生產(chǎn)和研發(fā)的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司在湖北省、長(cháng)三角、珠三角廣泛布局，總資產(chǎn)超50億元。

Thetametrisis膜厚測量?jì)x主要應用于客戶(hù)自研自產(chǎn)的光刻膠涂層材料。

ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內準確測量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。

FR-Scanner為半自動(dòng)測量設備，通過(guò)移動(dòng)晶圓片進(jìn)行整片掃描記錄測量數據，具有高重復性、精確的反射率測量表現能力。薄膜從幾nm到幾百μm均可測量。FR-Scanner在準確性、精度、再現性和長(cháng)期穩定性方面提供了出色的性能。